Estudo sistemático da modificação das propriedades tribomecânicas de superfícies de titânio carbonitretadas por plasma
Titânio, plasma, propriedades tribomecânicasm, medida de nanodureza, determinação do coeficiente de atrito
Compostos intersticiais de titânio têm sido largamente estudados devido à larga faixa de propriedades adquiridas quando átomos de C, N, O e H são adicionados. Neste trabalho, superfícies de TiCxNy foram produzidas por tratamento termoquímico auxiliado por plasma de diferentes misturas de N2 + Ar + CH4. Foi fixado o fluxo de Ar em 4 sccm variando-se os fluxos de N2 e CH4. Durante o tratamento termoquímico, o plasma foi monitorado por OES para investigação da influência das espécies ativas. Após o tratamento, as superfícies das amostras foram analisadas quanto ao perfil de concentração de C e N, fases cristalinas e fases amorfas. Também foram analisadas suas propriedades tribomecânicas através da medida de nanodureza e determinação do coeficiente de atrito. As áreas desgastadas foram avaliadas por perfilometria e microscopia eletrônica de varredura (MEV) com o intuito de verificar os mecanismos de desgastes presentes em cada material. Verificou-se que propriedades como dureza e coeficiente de atrito possuíram forte influência com a intensidade das espécies, sugerindo o uso da mesma como parâmetro de processos a plasma.